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20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。