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最小流量：20SCCM
最大流量：250SLPM
EMC經(jīng)濟型氣體層流質(zhì)量流量控制器是一款性價比極高的質(zhì)量流量控制器，盡管成本較低，但同樣采用層流壓差式原理，和內(nèi)置壓力、溫度傳感器的精確補償，有數(shù)字信號RS485款和模擬信號(0~5)V/(4~20)mA款可供選擇，精度可達±1.0%滿量程，具有高重復(fù)性、自動測量控制和寬溫度壓力適用范圍等特點。

11系列基本型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校，可達到優(yōu)于100 ms的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性。