21系列氣體質(zhì)量流量控制器
21系列標準型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。設備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達到優(yōu)于100 ms的控制速度,并保持極佳穩(wěn)定性,并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。