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● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 量程可控比1%-100%

● 響應(yīng)時(shí)間快，100 ms（可調(diào)）

● 內(nèi)置128種常規(guī)及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類：內(nèi)置了128種氣體，請(qǐng)參考背面； 一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程：從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請(qǐng)咨詢）

量程可控比：1%-100%

最大顯示流量：128 %滿量程

最大可控流量：102.4 %滿量程

顯  示  屏：帶背光按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度：±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

高  精  度：±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配； 僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備

累計(jì)流量精度：流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)額外誤差

重  復(fù)  性：± 0.2 %滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移：0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移：±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)

                 （從校準(zhǔn)壓力開始）

控制響應(yīng)時(shí)間（T63）:  用戶可調(diào)， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms

                                   10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms

                                   50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms

顯示響應(yīng)時(shí)間:   用戶可調(diào)， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms

                         10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms

                         50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms

預(yù)熱時(shí)間：＜ 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）：25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

閥門功能：常閉型

工作溫度：-10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）

溫度精度：± 0.75℃               

工作濕度： 0  ～ 100 %，無(wú)冷凝

最大工作壓力：1 MPa 表壓

最低操作壓力： 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPaA以上使用； 其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度：±0.5%讀數(shù)            

極限耐壓：1.1 MPa  表壓

滿量程壓損：參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率：數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率：10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485） 、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度：在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差

供電電壓：12 - 30 VDC 

供電電流：250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4-20 mA ）

電氣接口：DB9M，可選8針Mini-DIN、DB15、6針工業(yè)接頭等

泄漏率（外漏）：選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)：316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標(biāo)準(zhǔn)）

                  可根據(jù)特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼

過程連接：詳情參考?jí)簱p表

安裝位置：小閥門無(wú)要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級(jí)：IP40 

認(rèn)       證：ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

●  大學(xué)/研究所           ●  泄漏檢測(cè)
●  環(huán)境監(jiān)測(cè)                ●  真空行業(yè)及鍍膜
●  工業(yè)爐窯                ●  半  導(dǎo)  體
●  汽車制造                ●  計(jì)量校準(zhǔn)
●  過程工藝氣體測(cè)量