服務熱線：400-9918-129
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%
● 量程可控比1%-100%
● 響應時間快，100 ms（可調(diào)）
● 內(nèi)置128種常規(guī)及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
介質(zhì)要求：潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類：內(nèi)置了128種氣體，請參考背面； 一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程：從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）
量程可控比：1%-100%
最大顯示流量：128 %滿量程
最大可控流量：102.4 %滿量程
顯 示 屏：帶背光按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度：±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
高 精 度：±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配； 僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備
累計流量精度：流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)額外誤差
重 復 性：± 0.2 %滿量程
質(zhì)量流量零點和滿量程溫度漂移：0.02%滿量程/℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量零點和滿量程壓力漂移：±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)
（從校準壓力開始）
控制響應時間（T63）: 用戶可調(diào)， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms
顯示響應時間: 用戶可調(diào)， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms
預熱時間：＜ 1 s
默認標況（STP）：25 ℃ & 1Atm（其它標況可調(diào)）
閥門功能：常閉型
工作溫度：-10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度：± 0.75℃
工作濕度： 0 ～ 100 %，無冷凝
最大工作壓力：1 MPa 表壓
最低操作壓力： 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用； 其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度：±0.5%讀數(shù)
極限耐壓：1.1 MPa 表壓
滿量程壓損：參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率：數(shù)字信號40 Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率：10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號：RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485） 、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號：0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度：在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差
供電電壓：12 - 30 VDC
供電電流：250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4-20 mA ）
電氣接口：DB9M，可選8針Mini-DIN、DB15、6針工業(yè)接頭等
泄漏率（外漏）：選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì)：316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標準）
可根據(jù)特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼
過程連接：詳情參考壓損表
安裝位置：小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護等級：IP40
認 證：ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測 ● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯 ● 半 導 體
● 汽車制造 ● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
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