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11系列基本型氣體質(zhì)量流量控制器
11系列基本型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達到優(yōu)于100 ms的控制速度,并保持極佳穩(wěn)定性。
產(chǎn)品特色

● 低價位產(chǎn)品

● 標(biāo)配模擬和數(shù)字信號

● 量程可控比0.01%-100%

● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類:內(nèi)置了 98 種氣體,請參考背面,一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量       程:從0-100 SCCM 到 0-250 SLPM(詳情請咨詢)

測量和控制范圍:0.01~100% 滿量程

最大顯示流量:102.4%FS

精       度: ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

重  復(fù) 性:±(0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

零點&滿量程溫度漂移:0.02% FS / ℃ (從25 ℃開始)

零點&滿量程壓力漂移:±(0.08% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)(從校準(zhǔn)壓力開始)

預(yù)熱時間:<1s

響應(yīng)時間:100 ms(可調(diào))

默認標(biāo)況(STP):25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))

工作溫度:-10 ~ +60 ℃

工作濕度:0 - 95%,無冷凝

最大工作壓力:1 MPa 表壓

極限耐壓:1.1 MPa 表壓

最低操作壓力:建議在絕壓 80 KPa 以上使用(其他請咨詢)

模擬輸入/輸出信號:0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

數(shù)字輸入/輸出信號:RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)

供電電壓:12-24VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-24 VDC)供電電流    250 mA,1 A(詳情咨詢)額外加40 mA(選4 - 20 mA)

電氣接口:DB9M

材       質(zhì):302、303、304、316L、430FR 不銹鋼、 FKM氟橡膠、 陶瓷、 銅、玻璃、金、環(huán)氧樹脂、硅橡膠、 聚酰胺、硅

安裝方式:對位置無要求 

防護等級: IP40


應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所                                         

● 環(huán)境監(jiān)測     

● 真空鍍膜                                              

● 工業(yè)爐窯    

● 半導(dǎo)體                                                 

● 汽車制造    

● 光伏                                                    

● 燃料電池    

● 計量                                                    

● 過程工藝氣體測量


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