● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 可測(cè)范圍廣,0.01~100%滿(mǎn)量程
● 響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于10 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣
介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類(lèi):內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考背面;一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程:從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM(詳情請(qǐng)咨詢(xún))
測(cè)量范圍:0.01~100%滿(mǎn)量程
最大顯示流量:128 % 滿(mǎn)量程
顯 示 屏:帶背光燈按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 :同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度:± (0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿(mǎn)量程)精度升級(jí)部分見(jiàn)左下角
± (0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿(mǎn)量程)(可選)
累計(jì)流量精度: 流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差
重 復(fù) 性:± (0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿(mǎn)量程)
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移:0.02%滿(mǎn)量程/ ℃(從25℃開(kāi)始)
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿(mǎn)量程漂移:±(0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿(mǎn)量程)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始)
響應(yīng)時(shí)間:優(yōu)于10 ms (與流量相關(guān))
預(yù)熱時(shí)間 :< 1 s
默認(rèn)標(biāo)況(STP):25 ℃&1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))
工作溫度: -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))
溫度精度:± 0.75 ℃
工作濕度: 0 ~ 95%,無(wú)冷凝
最大工作壓力:1 MPa 表壓(可選2 MPaG高壓系列)
最低操作壓力 : 如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPa以上使用;其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度: ± 0.5 % 讀數(shù)(讀數(shù)>1 Atm),或 ± 0.07 PSIA(<1Atm)
最大進(jìn)出口壓差 :0.5MPa
滿(mǎn)量程壓損:參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率:數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率;
模擬信號(hào):1000 Hz
屏幕刷新頻率:10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) :RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號(hào) :0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度: 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿(mǎn)量程誤差
供電電壓:9-24 VDC (如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出,須為12 - 24VDC)
供電電流:40mA,額外加 40 mA( 4 - 20 mA或0-10VDC輸出)
電氣接口:DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率(外漏):選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì):302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷
過(guò)程連接:詳情參考?jí)簱p表
安裝方式:對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí): IP40
認(rèn) 證 : ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH、CSA (可選)
量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM,
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段,下述指標(biāo)升級(jí):
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿(mǎn)量程(取最大值)
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿(mǎn)量程(取最大值)
重復(fù)性 ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿(mǎn)量程)
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01% 滿(mǎn)量程 / ℃(從 25 ℃開(kāi)始)
± 0.01% 滿(mǎn)量程 / Atm(從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始)
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃(從 25 ℃開(kāi)始)
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm(從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始)
● 標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測(cè)量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無(wú)需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號(hào)接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號(hào)輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測(cè)量從0.5SCCM到3000SLPM的滿(mǎn)量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
● 可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號(hào)接口
ProfiBUS數(shù)字信號(hào)輸出
RS-485數(shù)字信號(hào)輸出
4-20mA模擬信號(hào)輸出
第二種模擬信號(hào)輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過(guò)高或過(guò)低)
雙向流動(dòng)
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體(最多4種)
定制流量范圍
● 大學(xué)/研究所 ● 泄漏檢測(cè)
● 環(huán)境監(jiān)測(cè) ● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯 ● 半 導(dǎo) 體
● 汽車(chē)制造 ● 光 伏
● 燃料電池 ● 計(jì)量校準(zhǔn)
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量