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F-201CV系列流量控制器
EL-FLOW? Select 系列質(zhì)量流量計(jì)/控制器,擁有專門為‘實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用所設(shè)計(jì)的PC板模塊化結(jié)構(gòu)??刂崎y可以是一體的,也可以是分體的??蓽y量和控制的氣體流量范圍: 最低流量可達(dá)0,014...0,7 mln/min 最高流量可達(dá) 8...1670 ln/min
該款質(zhì)量流量控制器的控制閥是模塊化結(jié)構(gòu),用戶可以在設(shè)備安裝現(xiàn)場不做任何調(diào)整即可更換。標(biāo)準(zhǔn)通用的閥門是常關(guān)閥,Kv值可高達(dá)1.5 ,也可根據(jù)客戶的要求提供常開閥的產(chǎn)品。
特點(diǎn)

高精確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0,5% Rd + 0,1% FS)

在數(shù)字模式下的最大量程比可達(dá) 1:187,5

反應(yīng)靈敏(最低為200 msec),重復(fù)性能好

可選配 ‘多氣體‘/’多范圍‘:可自由編程流量范圍和氣體類型

壓力等級(jí)64/100bar (10bar以下可選配多介質(zhì)/多量程功能)

可選高壓版本

模擬 I/O-信號(hào), RS232-連接; 可選的板載總線接口

所有的表面都經(jīng)過了電化學(xué)拋光處理

緊湊,模塊式結(jié)構(gòu)

可選配金屬密封和/或者上下連接式結(jié)構(gòu)

應(yīng)用領(lǐng)域

分析/環(huán)保設(shè)備

在食品,化學(xué)和石化行業(yè)中氣體流量的監(jiān)控

氣體消耗監(jiān)測和核算

通過相應(yīng)對象來檢測氣體的泄漏情況

半導(dǎo)體制造業(yè)

表面處理裝置

可測量范圍

質(zhì)量流量控制器(滿量程,N2當(dāng)量)

PN64PN 100 barPN 200 barPN 400 bar
F-200CV  |  0.7 … 9 mln/minF-210CV  |  0.7 … 9 mln/minF-220M  |  10 … 15 mln/minF-230M  |  10 … 500 mln/min
F-201CV  |  0.008 … 25 ln/minF-211CV  |   0.008 … 25 ln/minF-221M  |  0.015 … 20 ln/minF-231M  |  0.5 … 10 ln/min
F-201AV  |  20 … 100 ln/minF-211AV  |  20 … 100 ln/minF-221M  |  0.015 … 20 ln/minF-231M  |  0.5 … 10 ln/min
F-202AV  |  40 … 250 ln/minF-212AV  |  40 … 250 ln/min
F-232M  |  10 … 100 ln/min
F-203AV  |  200 … 1670 ln/minF-213AV  |  200 … 1670 ln/min


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