高精確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0,5% Rd + 0,1% FS)
在數(shù)字模式下的最大量程比可達(dá) 1:187,5
反應(yīng)靈敏(最低為200 msec),重復(fù)性能好
可選配 ‘多氣體‘/’多范圍‘:可自由編程流量范圍和氣體類型
壓力等級(jí)64/100bar (10bar以下可選配多介質(zhì)/多量程功能)
可選高壓版本
模擬 I/O-信號(hào), RS232-連接; 可選的板載總線接口
所有的表面都經(jīng)過了電化學(xué)拋光處理
緊湊,模塊式結(jié)構(gòu)
可選配金屬密封和/或者上下連接式結(jié)構(gòu)
分析/環(huán)保設(shè)備
在食品,化學(xué)和石化行業(yè)中氣體流量的監(jiān)控
氣體消耗監(jiān)測和核算
通過相應(yīng)對(duì)象來檢測氣體的泄漏情況
半導(dǎo)體制造業(yè)
表面處理裝置
質(zhì)量流量計(jì)(滿量程,N2當(dāng)量)
PN 100 bar | PN 200 bar | PN 400 bar | |
---|---|---|---|
F-110C | 0.7 … 9 mln/min | F-120M | 10 … 15 mln/min | F-130M | 10 … 15 mln/min | |
F-111B | 0,008 … 25 ln/min | F-121M | 0.015 … 20 ln/min | F-131M | 0.015 … 20 ln/min | |
F-111AC | 20 … 100 ln/min | F-121M | 0,015 … 20 ln/ | F-131M | 0.015 … 20 ln/min | |
F-112AC | 40 … 250 ln/min | F-122M | 15 … 250 ln/min | F-132M | 15 … 250 ln/min | |
F-113AC | 200 … 1670 ln/min | F-123M | 200 … 1250 ln/min | F-133M | 200 … 1250 ln/min |