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F-110C系列流量計(jì)
EL-FLOW? Select 系列質(zhì)量流量計(jì)/控制器,為‘實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用所設(shè)計(jì)的PC板模塊化結(jié)構(gòu)??刂崎y可以是一體的,也可以是分體的??蓽y量和控制的氣體流量范圍: 最低流量可達(dá)0,014...0,7 mln/min 最高流量可達(dá) 8...1670 ln/min
該款質(zhì)量流量控制器的控制閥設(shè)計(jì)是模塊化結(jié)構(gòu),用戶可以在設(shè)備安裝現(xiàn)場不做任何調(diào)整即可更換。標(biāo)準(zhǔn)通用的閥門是常關(guān)閥,Kv值可高達(dá)1.5 ,也可根據(jù)客戶的要求提供常開閥的產(chǎn)品。
特點(diǎn)
  • 高精確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0,5% Rd + 0,1% FS)

  • 在數(shù)字模式下的最大量程比可達(dá) 1:187,5

  • 反應(yīng)靈敏(最低為200 msec),重復(fù)性能好

  • 可選配 ‘多氣體‘/’多范圍‘:可自由編程流量范圍和氣體類型

  • 壓力等級(jí)64/100bar (10bar以下可選配多介質(zhì)/多量程功能)

  • 可選高壓版本

  • 模擬 I/O-信號(hào), RS232-連接; 可選的板載總線接口

  • 所有的表面都經(jīng)過了電化學(xué)拋光處理

  • 緊湊,模塊式結(jié)構(gòu)

  • 可選配金屬密封和/或者上下連接式結(jié)構(gòu)

應(yīng)用領(lǐng)域

分析/環(huán)保設(shè)備

在食品,化學(xué)和石化行業(yè)中氣體流量的監(jiān)控

氣體消耗監(jiān)測和核算

通過相應(yīng)對(duì)象來檢測氣體的泄漏情況

半導(dǎo)體制造業(yè)

表面處理裝置


可測量范圍

質(zhì)量流量計(jì)(滿量程,N2當(dāng)量)


PN 100 barPN 200 barPN 400 bar

F-110C     |  0.7 … 9 mln/minF-120M  |  10 … 15 mln/minF-130M  |  10 … 15 mln/min

F-111B     |  0,008 … 25 ln/minF-121M  |   0.015 … 20 ln/minF-131M  |  0.015 … 20 ln/min

F-111AC  |  20 … 100 ln/minF-121M  |  0,015 … 20 ln/F-131M  |  0.015 … 20 ln/min

F-112AC  |  40 … 250 ln/minF-122M  |  15 … 250 ln/minF-132M  |  15 … 250 ln/min

F-113AC  |  200 … 1670 ln/minF-123M  |  200 … 1250 ln/minF-133M  |  200 … 1250 ln/min


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