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21W系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器
21W系列低壓降質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。 21W系列具有超低壓損,滿量程壓損最低可達(dá)480 Pa。21W系列可用于快速精確地測(cè)量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合,尤其是要求低壓損的應(yīng)用場(chǎng)合。
產(chǎn)品特色

●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)可控:質(zhì)量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度:可優(yōu)于0.5 %讀數(shù)

●  量程可控比寬,0.5~100 %滿量程

●  滿量程超低壓損最低為480 Pa

●  閥門響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于100 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣

精度升級(jí)

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM,

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級(jí):

質(zhì)量流量普通精度       ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

質(zhì)量流量高精度          ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復(fù)性                        ±(0.1%   讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類 : 內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表;一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程:從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可控比:0.5~100%滿量程

最大顯示流量:128 %滿量程            

最大可控流量:102.4 % 滿量程

顯  示  屏:帶按鍵背光開(kāi)關(guān),標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式:同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度:±(0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)  精度升級(jí)部分見(jiàn)左下角

                 ±(0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)(可選)

累計(jì)流量精度:流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差

重  復(fù)  性:±(0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程)

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移:0.03%滿量程/ ℃(從25℃開(kāi)始)

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移:±(0.08 % 讀數(shù)+ 0.02 % 滿量程)/ Atm

                 (從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始)

控制響應(yīng)時(shí)間(T63,用戶可調(diào)):小閥門:30 ms;R閥門:150 ms

顯示響應(yīng)時(shí)間:127 ms(用戶可調(diào))            

預(yù)熱時(shí)間:< 1 s

默認(rèn)標(biāo)況(STP):25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))  

閥門功能:常閉型

工作溫度:-10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))

溫度精度:± 0.75 ℃                        

工作濕度:0 ~ 95 %,無(wú)冷凝

最大工作壓力:0.3 MPa表壓,進(jìn)出口最大允許瞬時(shí)壓差70 Kpa

最低操作壓力:如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPaA以上使用; 其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度:± 0.75 %讀數(shù)(>1 Atm),或±0.1 PSIA(<1Atm)

滿量程壓損:參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率: 數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率;模擬信號(hào):1000 Hz

屏幕刷新頻率:10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào):RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU(RS232 / RS485)

模擬輸入/輸出信號(hào):0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號(hào)精度:在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓:12 - 30 VDC 

供電電流:250 mA,1 A,2 A(詳情咨詢),額外加 40 mA(4-20 mA)

電氣接口:DB9M,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏):選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì):302、303、304、430FR不銹鋼、Viton、硅橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、銅、金、R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼

過(guò)程連接:詳情參考?jí)簱p表

安裝位置:小閥門無(wú)要求,R閥門需閥體垂直向上安裝

防護(hù)等級(jí):IP40

認(rèn)    證:ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)

應(yīng)用及案例

●  低溫容器檢測(cè)

●  大學(xué)/研究所

●  泄漏檢測(cè)

●  環(huán)境監(jiān)測(cè)

●  汽車制造

●  過(guò)程工藝氣體測(cè)量

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